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    等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

    產品品牌

    牛津儀器

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    100000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話:4001027270

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    品牌:牛津儀器

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-高密度等離子體刻蝕機

    等離子刻蝕設備 牛津PlasmaPro100 Polaris 高端刻蝕工藝

    牛津儀器專業為中國企業、科研單位打造等離子刻蝕設備,可實現碳化硅深孔刻蝕工藝,深度達到
    100um以上

    精湛的精密刻蝕工藝 ,超過百家企業,科研單位,選擇我們量身定制設備,歡迎來電咨詢:010-57168280 趙小姐

    PlasmaPro100 Polaris
    1.深孔碳化硅刻蝕工藝的關鍵因素
    2.深孔碳化硅刻蝕工藝的關鍵技術開發與成果
    3.達成深孔碳化硅刻蝕:設備需具有的關鍵條件
    4.Polaris具體設計的特點
    5.可操作在低功率低偏壓之起輝模式
    6.單晶片夾具解決方案
    7.Hardware Components-最在化抽氣鏈結
    8.從硬件設計與工藝角度,總結Polaris的優異性能























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    qingqingyuan  2017-06-29

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